2020-2026年國內(nèi)外電子級三氯氧磷市場前瞻與趨勢分析報告
電子級三氯氧磷(6N、7N),又稱高純?nèi)妊趿?,主要用于集成電?IC)生產(chǎn)和晶硅太陽能電池精細加工中PN結(jié)制作的摻雜劑,作為五價元素磷(P)擴散源。磷源有多種,氣體源主要是磷烷(PH3),固體源主要是五氧化二磷(P2O5),液體源主要是三氯氧磷(POCl3)。它的純度對集成電路(IC)和多晶硅太陽能電池的成品率、電性...