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國內(nèi)的高端半導體行業(yè)已基本使用干式真空泵（附報告目錄）

半導體產(chǎn)品制造過程中所需的真空系統(tǒng)，需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能，因此油封式機械泵無法滿足半導體產(chǎn)業(yè)的需要。受半導體產(chǎn)業(yè)的驅(qū)動，干式真空泵于上世紀 80 年代出現(xiàn)，受益于下游集成電路、光伏、LED 等行業(yè)的持續(xù)發(fā)展進步，干式真空泵的產(chǎn)品類型不斷增加，性能、控制集成度等指標參數(shù)顯著改善。截至目前，發(fā)達國家的半導體相關(guān)產(chǎn)業(yè)已全部使用干式真空泵，我國近年來也呈現(xiàn)明顯的干式真空泵替代油泵的趨勢，國內(nèi)的高端半導體行業(yè)已基本使用干式真空泵。

相關(guān)報告：北京普華有策信息咨詢有限公司《2021-2026年干式真空泵行業(yè)應用市場調(diào)研及投資前景預測報告》

除半導體產(chǎn)業(yè)以外，制藥、化工、食品行業(yè)對真空泵的需求較大，以往使用油封式機械泵會產(chǎn)生油污染。近年來國家對環(huán)境保護高度重視，由于干式真空泵能夠顯著減少油污染，且使用干式真空泵可實現(xiàn)溶媒回收提高利用率，因此制藥、化工、食品等行業(yè)對干式真空泵產(chǎn)生了大量新增以及替代原有存量油封式機械泵的需求。

1、全球干式真空泵行業(yè)市場規(guī)模

2019年全球干式真空泵市場規(guī)模為60 億美元，預計 2020-2026年干式真空泵市場規(guī)模的年復合增長率為 5.5%。全球干式真空泵市場規(guī)模增長的主要驅(qū)動因素來自于制藥業(yè)，制藥企業(yè)利用干式真空泵在藥品、中間體、原料的制造過程中保持適宜的反應環(huán)境，以及用于不斷增長的新藥研發(fā)活動。亞太地區(qū)是干式真空泵市場增速最快的區(qū)域，主要驅(qū)動因素是持續(xù)增長的半導體和電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

（1）集成電路領(lǐng)域干式真空泵市場規(guī)模

干式真空泵是半導體各制程中必備的通用設備，應用于單晶拉晶、Load-Lock、刻蝕、CVD、原子層沉積（ALD）、封裝、測試等清潔或嚴苛制程。受益于近年來集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定增長，干式真空泵產(chǎn)業(yè)也保持著持續(xù)穩(wěn)步的發(fā)展態(tài)勢。以 12 英寸晶圓生產(chǎn)線為例，每 3.5 萬片/月產(chǎn)能需要約 2,000 臺真空泵。2019 年全球晶圓在運產(chǎn)能折合 12 英寸約 869 萬片/月，假設存量干式真空泵每年更換 20%（晶圓制造企業(yè)對干式真空泵的折舊年限一般為 5 年），按單臺干式真空泵均價 10 萬元估算，2019 年全球集成電路領(lǐng)域干式真空泵存量替換市場規(guī)模約 100 億元。

（2）光伏領(lǐng)域干式真空泵市場規(guī)模

干式真空泵是光伏產(chǎn)業(yè)的晶體生長和硅片生產(chǎn)的必備設備。2019 年度中國大陸硅

片產(chǎn)能 173.7GW，晶體生長和硅片生產(chǎn)每 GW 需要約 200 臺干式真空泵。根據(jù)隆基股份、中環(huán)股份、晶澳科技、晶科能源等光伏產(chǎn)品制造商的公告，預計 2020 年-2022 年每年將新增硅片產(chǎn)能約 50GW，亦即每年因新增硅片產(chǎn)能增加干式真空泵市場需求約 7 億元。綜上，預計未來幾年光伏產(chǎn)業(yè)對干式真空泵的市場需求為每年 12-15 億元。

（3）干式真空泵在其他產(chǎn)業(yè)應用情況

除集成電路和光伏產(chǎn)業(yè)外，干式真空泵作為通用設備，由于其具備良好的潔凈真空特性和可靠性，因而是 LED 產(chǎn)業(yè)的外延片生長和芯片制造、平板顯示產(chǎn)業(yè) PVD 等工藝環(huán)節(jié)真空環(huán)境獲得的主要設備。此外，干式真空泵在鋰電池烘干工序，以及制藥、化工等產(chǎn)業(yè)中均有較為廣泛的應用。

2、干式真空泵行業(yè)發(fā)展面臨的機遇與挑戰(zhàn)

資料來源：普華有策

（1）行業(yè)發(fā)展面臨的機遇

國家產(chǎn)業(yè)政策大力支持

由于各種電子技術(shù)都基于半導體材料來實現(xiàn)，幾乎所有電子產(chǎn)品如 PC、消費電子、通信設備等的核心單元均與半導體有著極為密切的關(guān)聯(lián)，因此半導體是電子產(chǎn)品的組成核心，承擔了信息的載體和傳輸功能，是整個信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展基石。

集成電路產(chǎn)業(yè)已成為國民經(jīng)濟中基礎性、關(guān)鍵性和戰(zhàn)略性的產(chǎn)業(yè)。近年來，國家在產(chǎn)業(yè)、財稅、金融等方面出臺多項政策支持集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，包括《新時期促進集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》、《進一步鼓勵軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策》、《關(guān)于進一步鼓勵集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展企業(yè)所得稅政策的通知》、《中國制造 2025》、《集成電路產(chǎn)業(yè)研究與開發(fā)專項資金管理暫行辦法》、《國民經(jīng)濟和社會發(fā)展第十三個五年（2016-2020）規(guī)劃綱要》、《“十三五”國家科技創(chuàng)新規(guī)劃》等，為集成電路裝備制造企業(yè)的發(fā)展創(chuàng)造了良好市場與政策環(huán)境的同時，也對產(chǎn)業(yè)發(fā)展制定了目標與規(guī)劃。

下游市場需求快速增長

我國本土集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展雖起步較晚，但近年來發(fā)展迅速，行業(yè)增速領(lǐng)先全球。數(shù)據(jù)顯示，2019 年中國集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額達 7,562 億元，占全球集成電路市場銷售額的32.87%，我國已超過美國、歐洲和日本，成為全球最大的集成電路市場。與此同時，物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、人工智能、5G 通信、智能駕駛等新型基礎設施和新型應用領(lǐng)域?qū)砭薮蟮男酒隽啃枨?，為干式真空泵產(chǎn)品提供廣闊的市場空間。

全球半導體產(chǎn)能逐步向我國轉(zhuǎn)移

經(jīng)歷了 20 世紀 70 年代由美國轉(zhuǎn)向日本，以及 20 世紀 80 年代轉(zhuǎn)向韓國和中國臺灣，目前半導體產(chǎn)業(yè)正在經(jīng)歷向中國大陸的第三次轉(zhuǎn)移。目前，中國擁有全球規(guī)模最大且增長最快的集成電路消費市場。受益于龐大的消費市場以及國家產(chǎn)業(yè)政策的大力支持，國內(nèi)集成電路制造企業(yè)中芯國際、華虹集團、長江存儲，以及臺積電、三星、英特爾等境外企業(yè)均加大在中國大陸的投資以擴張產(chǎn)能。集成電路生產(chǎn)能力的不斷提升，有利于國內(nèi)裝備制造企業(yè)積累研發(fā)及管理經(jīng)驗、降低生產(chǎn)成本以及加快人才培養(yǎng)，促進國內(nèi)裝備制造企業(yè)的快速發(fā)展。

（2）行業(yè)發(fā)展面臨的挑戰(zhàn)

與國外廠商比綜合競爭力仍存在一定差距

由于我國相關(guān)產(chǎn)業(yè)起步較晚，產(chǎn)業(yè)基礎相對薄弱，較之國外行業(yè)領(lǐng)先廠商，國內(nèi)企業(yè)在產(chǎn)品性能、產(chǎn)品種類、研發(fā)投入、業(yè)務規(guī)模、技術(shù)積累等多方面仍存在一定差距。

人才儲備相對不足

真空獲得設備、真空儀器設備研發(fā)制造業(yè)對科研人才的要求較高，一方面，產(chǎn)品的研發(fā)、設計、制造需要真空、機械、材料、自動控制、軟件等多學科領(lǐng)域的復合型人才；另一方面，由于產(chǎn)品應用領(lǐng)域廣泛，可用于集成電路、光伏、LED、平板顯示、鋰電池、制藥、化工等行業(yè)，因而要求研發(fā)、設計人員對產(chǎn)品下游應用領(lǐng)域及應用場景有較為深刻的理解和認識。由于我國相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展歷程較短，且人才的培養(yǎng)不僅需要扎實的理論學習更要求大量的實踐經(jīng)驗，現(xiàn)有半導體產(chǎn)業(yè)及其設備制造業(yè)的人才難以滿足行業(yè)快速發(fā)展的需要。

報告目錄：

第一章 干式真空泵行業(yè)發(fā)展概述

第一節(jié) 干式真空泵行業(yè)定義

一、干式真空泵定義及研究范圍

二、干式真空泵分類

第二節(jié) 干式真空泵產(chǎn)品發(fā)展歷程分析

第三節(jié) 干式真空泵產(chǎn)品主要應用領(lǐng)域

第四節(jié) 干式真空泵行業(yè)發(fā)展特點分析

一、行業(yè)發(fā)展特點

二、行業(yè)成熟度

第五節(jié) 干式真空泵行業(yè)發(fā)展政策環(huán)境分析

一、干式真空泵行業(yè)監(jiān)管體制

二、干式真空泵行業(yè)政策解讀

三、干式真空泵行業(yè)發(fā)展規(guī)劃分析

第六節(jié) 干式真空泵產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)分析

第二章 全球干式真空泵行業(yè)發(fā)展狀況分析

第一節(jié) 全球干式真空泵行業(yè)技術(shù)研發(fā)情況分析

第二節(jié) 全球干式真空泵行業(yè)市場發(fā)展現(xiàn)狀分析

一、全球干式真空泵行業(yè)發(fā)展規(guī)模分析

二、全球干式真空泵行業(yè)市場競爭格局

第三節(jié) 全球干式真空泵產(chǎn)品細分市場發(fā)展情況分析

第四節(jié) 重點國家干式真空泵行業(yè)發(fā)展情況分析

一、干式真空泵行業(yè)發(fā)展成熟國家市場分析

二、全球干式真空泵產(chǎn)品新興市場分析

第五節(jié) 全球干式真空泵行業(yè)重點企業(yè)分析

第六節(jié) 全球干式真空泵行業(yè)發(fā)展趨勢分析

一、全球干式真空泵行業(yè)發(fā)展前景預測

二、全球干式真空泵行業(yè)發(fā)展趨勢

第三章 2016-2020年中國干式真空泵行業(yè)運行情況分析

第一節(jié) 中國干式真空泵行業(yè)市場生產(chǎn)情況分析

一、中國干式真空泵行業(yè)產(chǎn)能分析

二、中國干式真空泵行業(yè)產(chǎn)量分析

第二節(jié) 中國干式真空泵行業(yè)市場銷售情況分析

一、中國干式真空泵行業(yè)銷售規(guī)模分析

二、中國干式真空泵行業(yè)重點企業(yè)市場份額

第三節(jié) 中國干式真空泵產(chǎn)品進出口分析

一、中國干式真空泵產(chǎn)品進口分析

二、中國干式真空泵產(chǎn)品出口分析

第四節(jié) 中國干式真空泵行業(yè)發(fā)展規(guī)模分析

一、行業(yè)企業(yè)規(guī)模

二、行業(yè)從業(yè)人員規(guī)模及結(jié)構(gòu)

三、行業(yè)總資產(chǎn)規(guī)模

第五節(jié) 中國干式真空泵行業(yè)區(qū)域市場格局分析

一、行業(yè)產(chǎn)業(yè)集群情況

二、行業(yè)區(qū)域格局

第四章 中國干式真空泵行業(yè)下游市場分析

第一節(jié) 行業(yè)下游市場發(fā)展概述

一、行業(yè)需求總示意圖

二、行業(yè)下游應用領(lǐng)域結(jié)構(gòu)

第二節(jié) 應用領(lǐng)域一

一、行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

二、產(chǎn)品市場規(guī)模

三、產(chǎn)品供需規(guī)模分析

四、產(chǎn)品技術(shù)水平分析

五、應用領(lǐng)域一市場產(chǎn)品主要供應商

六、應用領(lǐng)域一市場產(chǎn)品主要需求客戶

七、應用領(lǐng)域一干式真空泵產(chǎn)品發(fā)展前景展望

第三節(jié) 應用領(lǐng)域二

一、行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

二、產(chǎn)品市場規(guī)模

三、產(chǎn)品供需規(guī)模分析

四、產(chǎn)品技術(shù)水平分析

五、應用領(lǐng)域二市場產(chǎn)品主要供應商

六、應用領(lǐng)域二市場產(chǎn)品主要需求客戶

七、應用領(lǐng)域二干式真空泵產(chǎn)品發(fā)展前景展望

第五章 干式真空泵行業(yè)市場競爭情況分析

第一節(jié) 干式真空泵行業(yè)競爭格局

一、行業(yè)競爭程度

二、供應商議價能力

三、消費者議價能力

四、替代品威脅

五、新進入者威脅

第二節(jié) 干式真空泵行業(yè)區(qū)域競爭力分析

第三節(jié) 國內(nèi)干式真空泵行業(yè)國際競爭力分析

第四節(jié) 競爭總結(jié)

第五節(jié) 干式真空泵行業(yè)競爭策略分析

第六章 干式真空泵行業(yè)地區(qū)市場及前景分析

第一節(jié) 區(qū)域市場結(jié)構(gòu)分析

第二節(jié) 東北地區(qū)市場規(guī)模及前景分析

一、2016-2020年市場分析

二、2021-2026年市場前景分析

第三節(jié) 華北地區(qū)市場規(guī)模及前景分析

一、2016-2020年市場分析

二、2021-2026年市場前景分析

第四節(jié) 華南地區(qū)市場規(guī)模及前景分析

一、2016-2020年市場分析

二、2021-2026年市場前景分析

第五節(jié) 華中地區(qū)市場規(guī)模及前景分析

一、2016-2020年市場分析

二、2021-2026年市場前景分析

第六節(jié) 華東地區(qū)市場規(guī)模及前景分析

一、2016-2020年市場分析

二、2021-2026年市場前景分析

第七節(jié) 西南地區(qū)市場規(guī)模及前景分析

一、2016-2020年市場分析

二、2021-2026年市場前景分析

第八節(jié) 西北地區(qū)市場規(guī)模及前景分析

一、2016-2020年市場分析

二、2021-2026年市場前景分析

第七章 干式真空泵行業(yè)重點企業(yè)分析

第一節(jié) A企業(yè)

一、企業(yè)發(fā)展概況分析