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前道量檢測設備行業(yè)面臨的機遇和挑戰(zhàn)行業(yè)主要企業(yè)

半導體設備行業(yè)中，前道量檢測設備主要運用光學技術、電子束技術等測量晶圓的薄膜厚度、關鍵尺寸等，或檢測產(chǎn)品表面存在的雜質(zhì)顆粒、機械劃傷、晶圓圖案缺陷等，貫穿光刻、刻蝕、薄膜沉積、CMP 等晶圓制造的全部工序。前道量檢測設備根據(jù)使用目的可分為測量設備和檢測設備：其中，測量設備主要是對晶圓的薄膜厚度、關鍵尺寸、套準精度、刻蝕深度、表面形貌等進行測量，以確保其符合參數(shù)的設計要求；而檢測設備主要用于識別并定位產(chǎn)品表面存在的雜質(zhì)顆粒沾污、晶圓圖案缺陷、微觀缺陷觀測、機械劃傷等問題。

資料來源：普華有策

1、前道量檢測設備行業(yè)面臨的機遇

（1）國家政策的大力支持

半導體產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代經(jīng)濟社會發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎性和先導性產(chǎn)業(yè)，已成為當前衡量一個國家或地區(qū)綜合競爭力的重要標志。為鼓勵、推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展，國家出臺了一系列財政、稅收政策。2017 年 1 月，發(fā)改委發(fā)布的《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重點產(chǎn)品和服務指導目錄》將半導體專用設備產(chǎn)業(yè)列入戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重點產(chǎn)品目錄。2021 年 3 月，“十四五”規(guī)劃將集成電路設計工具、重點裝備等特色工藝突破作為加強原創(chuàng)性、引領性科技攻關的重點任務。前道量檢測設備領域也受益于國家對半導體產(chǎn)業(yè)的支持政策，迎來了良好的發(fā)展機遇。

（2）下游需求持續(xù)增長

汽車電子、消費電子等終端應用領域的繁榮發(fā)展，推動了我國晶圓制造產(chǎn)線建設步伐加快。數(shù)據(jù)顯示，2017 年至 2020 年間，全球投產(chǎn)的晶圓廠約 62 座，其中 26 座設于中國大陸；至 2020 年末，全球晶圓產(chǎn)能達到每月 3,184萬片，其中，中國大陸晶圓產(chǎn)能占全球比例為 15.8%。

下游晶圓制造產(chǎn)線的快速建設，對前道量檢測設備需求持續(xù)增長。2016 年至 2020 年，中國大陸前道量檢測設備市場規(guī)模由 7.0 億美元增長至 21.0 億美元，年復合增長率達到 31.61%，市場規(guī)模占全球量檢測設備市場的比例由 14.71%增長至 27.45%，已成為全球增速最快且占比最大的前道量檢測設備市場。

（3）我國成熟制程產(chǎn)線對前道量檢測設備的需求缺口亟需緩解

由于國際龍頭企業(yè)逐步不再生產(chǎn)成熟制程前道量檢測設備，且前道量檢測設備的國產(chǎn)化率僅為 2%，我國成熟制程晶圓制造產(chǎn)線面臨著較大的供應缺口。前道量檢測修復設備作為市場的重要組成，有效緩解了成熟制程設備供應緊張的局面，支持了我國半導體產(chǎn)線的建設。

2、前道量檢測設備行業(yè)面臨的挑戰(zhàn)

（1）專業(yè)人才仍相對匱乏

前道量檢測設備涉及多學科技術，是典型的技術密集型、人才密集型產(chǎn)業(yè)。雖然我國半導體產(chǎn)業(yè)已儲備了一定的技術人員，但仍難以滿足市場需求的快速增長，專業(yè)人才仍相對匱乏。

（2）國內(nèi)企業(yè)整體技術水平及綜合實力仍與國際先進水平存在一定差距

日本、美國等國家在前道量檢測設備領域起步較早，擁有大量的技術積累和完善的產(chǎn)業(yè)鏈配套環(huán)境，在經(jīng)營規(guī)模、產(chǎn)品種類、技術水平、品牌聲譽等方面具備領先優(yōu)勢，綜合實力強。我國前道量檢測設備產(chǎn)業(yè)起步較晚，國內(nèi)企業(yè)在整體技術水平、企業(yè)規(guī)模、人才儲備、產(chǎn)品品類等方面仍與國際先進水平存在一定差距。

3、前道量檢測設備行業(yè)內(nèi)主要企業(yè)

前道量檢測設備市場的供應格局相對集中，主要由 KLA、AMAT、Hitachi等國際龍頭企業(yè)主導，其在銷售規(guī)模、產(chǎn)品種類及先進程度、市場占有率等方面具備領先優(yōu)勢。近年來，隨著我國半導體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，下游對前道量檢測設備需求快速增長，涌現(xiàn)了中科飛測、上海精測、睿勵儀器、無錫卓海等具備前道量檢測設備供應能力的企業(yè)，具體如下：

（1）全球主要的前道量檢測設備企業(yè)

1）KLA

KLA 是一家為半導體、印刷電路板和顯示器等行業(yè)提供工藝支持解決方案的供應商。在半導體量檢測領域，其產(chǎn)品線涵蓋了質(zhì)量控制全系列設備。目前為美國納斯達克證券交易所上市企業(yè)，股票代碼：KLAC。

2）AMAT

AMAT 成立于 1967 年，是一家為半導體、顯示器和相關行業(yè)提供設備、服務和軟件的制造商及供應商，其產(chǎn)品涵蓋刻蝕設備、離子注入機、晶圓量檢測等各類半導體設備。目前為美國納斯達克證券交易所上市企業(yè)，股票代碼：AMAT。

3）Hitachi

Hitachi 成立于 1910 年，是一家涉及電力、能源、產(chǎn)業(yè)、流通、水、城市建設、金融、醫(yī)療健康等領域的全球 500 強企業(yè)。在半導體設備領域，其為全球第三大前道量檢測設備供應商。目前為美國紐約證券交易所上市企業(yè)，股票代碼：HTHIY。

（2）國內(nèi)前道量檢測設備供應企業(yè)

1）中科飛測

深圳中科飛測科技股份有限公司專注于檢測和量測兩大類集成電路專用設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品主要包括無圖形晶圓缺陷檢測設備系列、圖形晶圓缺陷檢測設備系列、三維形貌量測設備系列、薄膜膜厚量測設備系列等。

2）上海精測

上海精測半導體技術有限公司主要從事半導體測試設備為主的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，同時也開發(fā)一部分顯示和新能源領域的檢測設備，產(chǎn)品主要包括膜厚測量機、激光切割機等，系武漢精測電子集團股份有限公司（精測電子，300567）的控股子公司。

3）睿勵儀器

睿勵科學儀器（上海）有限公司主要從事集成電路生產(chǎn)制造工藝裝備產(chǎn)業(yè)中的工藝檢測設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主要產(chǎn)品包括光學薄膜測量設備、光學關鍵尺寸測量設備、缺陷檢測設備等，系中微半導體設備（上海）股份有限公司（中微公司，688012）的參股子公司。

4）吉姆西

吉姆西半導體科技（無錫）有限公司主要從事半導體修復設備和研磨液供液系統(tǒng)等業(yè)務，涵蓋 CMP、離子注入、量檢測、光刻、涂膠顯影、清洗等半導體修復設備，系半導體修復設備供應企業(yè)。

更多行業(yè)資料請參考普華有策咨詢《2022-2028年前道量檢測設備行業(yè)深度調(diào)研及投資前景預測報告》，同時普華有策咨詢還提供產(chǎn)業(yè)研究報告、產(chǎn)業(yè)鏈咨詢、項目可行性報告、十四五規(guī)劃、BP商業(yè)計劃書、產(chǎn)業(yè)圖譜、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、藍白皮書、IPO募投可研、IPO工作底稿咨詢等服務。

目錄

第1章 前道量檢測設備行業(yè)綜述及數(shù)據(jù)來源說明

1.1 前道量檢測設備行業(yè)界定

1.1.1 前道量檢測設備的定義

1.1.2 《國民經(jīng)濟行業(yè)分類與代碼》中前道量檢測設備行業(yè)歸屬

1.2 前道量檢測設備行業(yè)相關專業(yè)術語

1.3 本報告數(shù)據(jù)來源及編制說明

第2章 中國前道量檢測設備行業(yè)宏觀環(huán)境分析（PEST）

2.1 中國前道量檢測設備行業(yè)政策（Policy）環(huán)境分析

2.1.1 中國前道量檢測設備行業(yè)監(jiān)管體系及機構介紹

1、中國前道量檢測設備行業(yè)主管部門

2、中國前道量檢測設備行業(yè)自律組織

2.1.2 中國前道量檢測設備行業(yè)發(fā)展相關政策規(guī)劃匯總及解讀

2.1.3 政策環(huán)境對中國前道量檢測設備行業(yè)發(fā)展的影響總結

2.2 中國前道量檢測設備行業(yè)經(jīng)濟（Economy）環(huán)境分析

2.2.1 中國宏觀經(jīng)濟發(fā)展現(xiàn)狀

2.2.2 中國宏觀經(jīng)濟發(fā)展展望

2.3 中國前道量檢測設備行業(yè)社會（Society）環(huán)境分析

2.4 中國前道量檢測設備行業(yè)技術（Technology）環(huán)境分析

第3章 全球前道量檢測設備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀及前道量檢測設備市場前景

3.1 全球前道量檢測設備行業(yè)發(fā)展歷程介紹

3.2 全球前道量檢測設備行業(yè)宏觀環(huán)境背景

3.2.1 全球前道量檢測設備行業(yè)經(jīng)濟環(huán)境概況

3.2.2 全球前道量檢測設備行業(yè)經(jīng)濟預測

3.3 全球前道量檢測設備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀及市場規(guī)模體量分析

3.4 全球前道量檢測設備行業(yè)區(qū)域發(fā)展格局及重點區(qū)域市場研究

3.4.1 全球前道量檢測設備行業(yè)區(qū)域發(fā)展格局

3.4.2 全球前道量檢測設備行業(yè)重點區(qū)域市場發(fā)展狀況

1、 亞洲前道量檢測設備行業(yè)地區(qū)市場分析

（1）亞洲前道量檢測設備行業(yè)市場現(xiàn)狀分析

（2）亞洲前道量檢測設備行業(yè)市場規(guī)模與市場需求分析

（3）2022-2028年亞洲前道量檢測設備行業(yè)前景預測分析

2、 北美前道量檢測設備行業(yè)地區(qū)市場分析

（1）北美前道量檢測設備行業(yè)市場現(xiàn)狀分析

（2）北美前道量檢測設備行業(yè)市場規(guī)模與市場需求分析

（3）2022-2028年北美前道量檢測設備行業(yè)前景預測分析

3、 歐洲前道量檢測設備行業(yè)地區(qū)市場分析

（1）歐洲前道量檢測設備行業(yè)市場現(xiàn)狀分析

（2）歐洲前道量檢測設備行業(yè)市場規(guī)模與市場需求分析

（3）2022-2028年歐洲前道量檢測設備行業(yè)前景預測分析

4、 其他地區(qū)分析

5、 2022-2028年全球前道量檢測設備行業(yè)規(guī)模預測

3.5 全球前道量檢測設備行業(yè)市場競爭格局及重點企業(yè)案例研究

3.5.1 全球前道量檢測設備行業(yè)市場競爭格局

3.5.2全球前道量檢測設備行業(yè)重點企業(yè)案例

1、企業(yè)A

2、企業(yè)B

3、企業(yè)C

第4章 中國前道量檢測設備行業(yè)進出口貿(mào)易狀況及對外貿(mào)易依存度

4.1 全球及中國前道量檢測設備行業(yè)發(fā)展差異分析

4.2 中國前道量檢測設備行業(yè)進出口貿(mào)易整體狀況

4.3 中國前道量檢測設備行業(yè)進口貿(mào)易狀況

4.3.1 中國前道量檢測設備行業(yè)進口規(guī)模

4.3.2 中國前道量檢測設備行業(yè)進口價格水平

4.3.3 中國前道量檢測設備行業(yè)進口產(chǎn)品結構

4.3.4 中國前道量檢測設備行業(yè)進口來源地

4.4 中國前道量檢測設備行業(yè)出口貿(mào)易狀況

4.4.1 中國前道量檢測設備行業(yè)出口規(guī)模

4.4.2 中國前道量檢測設備行業(yè)出口價格水平

4.4.3 中國前道量檢測設備行業(yè)出口產(chǎn)品結構

4.4.4 中國前道量檢測設備行業(yè)出口目的地

第5章 中國前道量檢測設備行業(yè)市場供給狀況及市場行情走勢預判

5.1 中國前道量檢測設備行業(yè)發(fā)展歷程介紹

5.2 中國前道量檢測設備行業(yè)市場特性解析

5.3 中國前道量檢測設備行業(yè)市場主體類型及入場方式

5.4 中國前道量檢測設備行業(yè)市場主體數(shù)量規(guī)模

5.5 中國前道量檢測設備行業(yè)市場供給能力分析

5.6 中國前道量檢測設備行業(yè)市場供給水平分析

5.7 中國前道量檢測設備行業(yè)市場行情走勢預判

第6章 2017-2022年上半年中國前道量檢測設備行業(yè)市場需求狀況及市場規(guī)模體量分析

6.1 中國前道量檢測設備行業(yè)市場滲透狀況分析

6.2 中國前道量檢測設備行業(yè)市場飽和度分析

6.3 中國前道量檢測設備行業(yè)市場需求狀況

6.4 中國前道量檢測設備行業(yè)市場銷售狀況

6.5 中國前道量檢測設備行業(yè)市場規(guī)模體量分析

第7章 中國前道量檢測設備行業(yè)市場競爭狀況及國際市場競爭力分析

7.1 中國前道量檢測設備行業(yè)波特五力模型分析

7.1.1 中國前道量檢測設備行業(yè)現(xiàn)有競爭者之間的競爭分析

7.1.2 中國前道量檢測設備行業(yè)關鍵要素的供應商議價能力分析

7.1.3 中國前道量檢測設備行業(yè)消費者議價能力分析

7.1.4 中國前道量檢測設備行業(yè)潛在進入者分析

7.1.5 中國前道量檢測設備行業(yè)替代品風險分析

7.2 中國前道量檢測設備行業(yè)投融資、兼并與重組案例

7.3 中國前道量檢測設備行業(yè)市場競爭格局分析

7.4 中國前道量檢測設備行業(yè)市場集中度分析

7.5 中國前道量檢測設備行業(yè)國際市場競爭力分析

7.6 中國前道量檢測設備行業(yè)國產(chǎn)替代布局狀況

第8章 2017-2022年上半年中國前道量檢測設備行業(yè)發(fā)展概述

8.1 中國前道量檢測設備行業(yè)上下游產(chǎn)業(yè)鏈分析

8.1.1 產(chǎn)業(yè)鏈模型原理介紹

8.1.2 前道量檢測設備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈條分析

8.2 中國前道量檢測設備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)分析

8.2.1 主要上游產(chǎn)業(yè)供給情況分析

8.2.2 2022-2028年主要上游產(chǎn)業(yè)供給預測分析

8.2.3 主要上游產(chǎn)業(yè)價格分析

8.2.4 2022-2028年主要上游產(chǎn)業(yè)價格預測分析

8.2.5 主要下游產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀分析

8.2.6 主要下游產(chǎn)業(yè)規(guī)模分析

8.2.7 主要下游產(chǎn)業(yè)價格分析

8.2.8 2022-2028年主要下游產(chǎn)業(yè)前景預測分析

8.3 中國前道量檢測設備細分市場格局分布

8.4 中國前道量檢測設備細分產(chǎn)品市場分析

8.7 中國前道量檢測設備行業(yè)中游細分市場前景分析

第9章 中國前道量檢測設備行業(yè)下游應用市場需求潛力分析

9.1 中國前道量檢測設備行業(yè)細分市場分析

9.1.1 A市場用前道量檢測設備

1、2017-2022年上半年行業(yè)發(fā)展概況

2、2017-2022年上半年需求規(guī)模

3、2022-2028年需求前景預測

9.1.2 B市場用前道量檢測設備

1、2017-2022年上半年行業(yè)發(fā)展概況

2、2017-2022年上半年需求規(guī)模

3、2022-2028年需求前景預測

9.1.3 C市場用前道量檢測設備

1、2017-2022年上半年行業(yè)發(fā)展概況

2、2017-2022年上半年需求規(guī)模

3、2022-2028年需求前景預測

9.1.4 D領域用前道量檢測設備

1、2017-2022年上半年行業(yè)發(fā)展概況

2、2017-2022年上半年需求規(guī)模

3、2022-2028年需求前景預測

9.2 行業(yè)下游領域需求格局占比

第10章 2017-2022年上半年中國前道量檢測設備行業(yè)區(qū)域市場現(xiàn)狀分析

10.1 中國前道量檢測設備行業(yè)區(qū)域市場規(guī)模分布

10.2 中國華東地前道量檢測設備市場分析

10.2.1 華東地區(qū)概述

10.2.2 華東地區(qū)前道量檢測設備市場供需情況及規(guī)模分析

10.2.3 2022-2028年華東地區(qū)前道量檢測設備市場前景預測

10.3 華中地區(qū)市場分析

10.3.1 華中地區(qū)概述

10.3.2 華中地區(qū)前道量檢測設備市場供需情況及規(guī)模分析

10.3.3 2022-2028年華中地區(qū)前道量檢測設備市場前景預測

10.4 華南地區(qū)市場分析

10.4.1 華南地區(qū)概述

10.4.2 華南地區(qū)前道量檢測設備市場供需情況及規(guī)模分析

10.4.3 2022-2028年華南地區(qū)前道量檢測設備市場前景預測

10.5 華北地區(qū)市場分析

10.5.1 華北地區(qū)概述

10.5.2 華北地區(qū)前道量檢測設備市場供需情況及規(guī)模分析

10.5.3 2022-2028年華北地區(qū)前道量檢測設備市場前景預測

10.6 東北地區(qū)市場分析

10.6.1 東北地區(qū)概述

10.6.2 東北地區(qū)前道量檢測設備市場供需情況及規(guī)模分析

10.6.3 2022-2028年東北地區(qū)前道量檢測設備市場前景預測

10.7 西北地區(qū)市場分析

10.7.1 西北地區(qū)概述

10.7.2 西北地區(qū)前道量檢測設備市場供需情況及規(guī)模分析

10.7.3 2022-2028年西北地區(qū)前道量檢測設備市場前景預測

10.8 西南地區(qū)市場分析

10.8.1 西南地區(qū)概述

10.8.2 西南地區(qū)前道量檢測設備市場供需情況及規(guī)模分析

10.8.3 2022-2028年西南地區(qū)前道量檢測設備市場前景預測

第11章 中國前道量檢測設備行業(yè)發(fā)展痛點及產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級

11.1 中國前道量檢測設備行業(yè)經(jīng)營模式分析

11.2 中國前道量檢測設備行業(yè)經(jīng)營效益分析

11.2.1 中國前道量檢測設備行業(yè)營收狀況

11.2.2 中國前道量檢測設備行業(yè)利潤水平

11.2.3 中國前道量檢測設備行業(yè)成本管控

11.3 中國前道量檢測設備行業(yè)市場痛點分析

11.4 中國前道量檢測設備產(chǎn)業(yè)結構優(yōu)化與轉(zhuǎn)型升級發(fā)展路徑

第12章 前道量檢測設備重點企業(yè)布局案例研究

12.1 前道量檢測設備重點企業(yè)市場份額

12.2 前道量檢測設備重點企業(yè)布局案例分析

12.2.1 A公司

（1）企業(yè)概況

（2）企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營基本情況

（3）企業(yè)前道量檢測設備業(yè)務布局狀況及產(chǎn)品銷售情況

（4）企業(yè)前道量檢測設備營業(yè)收入及增長情況

（5）企業(yè)核心競爭力分析

（6）企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略分析

12.2.2 B公司

（1）企業(yè)概況

（2）企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營基本情況

（3）企業(yè)前道量檢測設備業(yè)務布局狀況及產(chǎn)品銷售情況

（4）企業(yè)前道量檢測設備營業(yè)收入及增長情況

（5）企業(yè)核心競爭力分析

（6）企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略分析

12.2.3 C公司

（1）企業(yè)概況

（2）企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營基本情況

（3）企業(yè)前道量檢測設備業(yè)務布局狀況及產(chǎn)品銷售情況

（4）企業(yè)前道量檢測設備營業(yè)收入及增長情況

（5）企業(yè)核心競爭力分析

（6）企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略分析

12.2.4 D公司

（1）企業(yè)概況

（2）企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營基本情況

（3）企業(yè)前道量檢測設備業(yè)務布局狀況及產(chǎn)品銷售情況

（4）企業(yè)前道量檢測設備營業(yè)收入及增長情況

（5）企業(yè)核心競爭力分析

（6）企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略分析

12.2.5 E公司

（1）企業(yè)概況

（2）企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營基本情況

（3）企業(yè)前道量檢測設備業(yè)務布局狀況及產(chǎn)品銷售情況

（4）企業(yè)前道量檢測設備營業(yè)收入及增長情況

（5）企業(yè)核心競爭力分析

（6）企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略分析

第13章 中國前道量檢測設備行業(yè)發(fā)展?jié)摿υu估及趨勢前景預判

13.1 中國前道量檢測設備行業(yè)SWOT分析

13.2 2022-2028年中國前道量檢測設備行業(yè)發(fā)展?jié)摿υu估

13.3 2022-2028年中國前道量檢測設備行業(yè)市場前景預測

13.4 2022-2028年中國前道量檢測設備行業(yè)發(fā)展趨勢預判

第14章 中國前道量檢測設備行業(yè)投資價值及投資機會分析

14.1 中國前道量檢測設備行業(yè)市場進入壁壘構成分析

14.1.1 前道量檢測設備行業(yè)人才壁壘

14.1.2 前道量檢測設備行業(yè)技術壁壘

14.1.3 前道量檢測設備行業(yè)資金壁壘

14.1.4 前道量檢測設備行業(yè)其他壁壘

14.2 中國前道量檢測設備行業(yè)投資風險預警

14.2.1 前道量檢測設備行業(yè)政策風險分析

14.2.2 前道量檢測設備行業(yè)技術風險分析

14.2.3 前道量檢測設備行業(yè)宏觀經(jīng)濟波動風險分析

14.2.4 前道量檢測設備行業(yè)其他風險分析

14.3 中國前道量檢測設備行業(yè)投資價值評估

第15章 中國前道量檢測設備行業(yè)研究結論及建議