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半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展概況和趨勢、競爭格局、主要玩家市場容量

1、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展概況和趨勢

半導(dǎo)體制造過程中不可避免會產(chǎn)生一些顆粒、有機物、自然氧化層、金屬雜質(zhì)等污染物，清洗機是指對晶圓表面進行無損傷清洗以去除雜質(zhì)，獲得所需潔凈表面，為下一步工藝準備良好條件的工藝設(shè)備。清洗機廣泛運用于集成電路制造中的成膜前/成膜后清洗、等離子刻蝕后清洗、離子注入后清洗、化學(xué)機械拋光后清洗和金屬沉積后清洗等各個環(huán)節(jié)，清洗技術(shù)是影響芯片良率的重要因素之一。隨著半導(dǎo)體制造工藝技術(shù)的不斷提升，芯片尺寸不斷縮小，對雜質(zhì)敏感度提升，清洗步驟也在不斷增加，90nm 的芯片清洗工藝約 90 道，20nm 的清洗工藝則達到了215 道，目前清洗步驟占整個半導(dǎo)體工藝所有步驟約 1/3，幾乎所有制作過程前后都需要清洗，為清洗設(shè)備帶來了廣闊的增長空間。

根據(jù)清洗介質(zhì)的不同，半導(dǎo)體清洗技術(shù)可以分為濕法清洗和干法清洗兩種。目前濕法清洗為主流的清洗技術(shù)，占總清洗步驟的 90%以上。濕法清洗是根據(jù)不同的工藝需求，主要是通過去離子水、清洗劑等對晶圓表面進行無損傷清洗，以去除晶圓制造過程中的雜質(zhì)。干法清洗是指不使用化學(xué)溶劑，采用氣態(tài)的氫氟酸刻蝕不規(guī)則分布的有結(jié)構(gòu)的晶圓二氧化硅層，雖然具有對不同薄膜有高選擇比的優(yōu)點，但可清洗污染物比較單一，目前主要在 28nm 及以下技術(shù)節(jié)點的邏輯產(chǎn)品和存儲產(chǎn)品有應(yīng)用。根據(jù)清洗方法的不同，濕法清洗包括溶液浸泡法、機械刷洗法、二流體清洗、超聲波清洗、兆聲波清洗、批式旋轉(zhuǎn)噴淋法六種方法，干法清洗包括等離子清洗、氣相清洗和束流清洗三種方法。

目前主流的濕法清洗設(shè)備主要包括單片清洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、組合式清洗設(shè)備和批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗設(shè)備等，其中單片清洗設(shè)備市場份額占比最高。濕法清洗工藝路線下主流的清洗設(shè)備存在先進程度的區(qū)分，主要體現(xiàn)在可清洗顆粒大小、金屬污染、腐蝕均一性以及干燥技術(shù)等標準。

制圖：普華有策

2、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)競爭格局

全球前五大廠分別是應(yīng)用材料、阿斯麥、東京電子、泛林科技和科天半導(dǎo)體，來自美國、日本和荷蘭。憑借完整的產(chǎn)業(yè)鏈和豐富的技術(shù)專利積累，美日歐等發(fā)達國家在半導(dǎo)體領(lǐng)域長期保持了全面領(lǐng)先。

半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場集中度非常高，海外企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位。全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備主要被日本 DNS（迪恩士）、東京電子、泛林科技和 SEMES（韓國細美事）等企業(yè)主導(dǎo)，上述企業(yè)清洗設(shè)備合計占比超過全球市場 90%，產(chǎn)業(yè)集中度較高。

得益于產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移與國家政策支持，中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)全方位成長，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商通過自主研發(fā)，在半導(dǎo)體刻蝕、沉積、清洗等方面實現(xiàn)了設(shè)備的國產(chǎn)化替代，并進入量產(chǎn)階段。

隨著國內(nèi)企業(yè)核心技術(shù)和工藝能力的提升，以及在客戶認證方面的不斷進展，未來刻蝕、清洗設(shè)備有望成為顯著受益國內(nèi)市場需求發(fā)展的賽道，成為半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)國產(chǎn)替代的先鋒。中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額前五大廠商為北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、長川科技、新益昌，清洗設(shè)備廠商主要有盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微、至純科技和提牛科技等，產(chǎn)業(yè)集中度較高。

3、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)內(nèi)主要企業(yè)

中國大陸從事半導(dǎo)體清洗設(shè)備的企業(yè)有盛美上海、北方華創(chuàng)、芯源微、至純科技和提?？萍?。

（1）盛美上海

盛美上海是中國大陸半導(dǎo)體濕法設(shè)備龍頭企業(yè)，產(chǎn)品主要分為半導(dǎo)體清洗設(shè)備、半導(dǎo)體電鍍設(shè)備和先進封裝濕法設(shè)備三大類，其中半導(dǎo)體清洗設(shè)備收入占全部主營業(yè)務(wù)收入的比例最高，其主要產(chǎn)品為集成電路領(lǐng)域的單片清洗設(shè)備，其中包括單片SAPS 兆聲波清洗設(shè)備、單片 TEBO 兆聲波清洗設(shè)備、單片背面清洗設(shè)備、單片前道刷洗設(shè)備、槽式清洗設(shè)備、單片槽式組合清洗設(shè)備等，產(chǎn)品線較為豐富。

（2）北方華創(chuàng)

北方華創(chuàng)是品類最齊全的國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭，主營業(yè)務(wù)包括半導(dǎo)體設(shè)備、真空設(shè)備和電子元器件等，其半導(dǎo)體業(yè)務(wù)覆蓋了刻蝕、沉積、清洗等主要半導(dǎo)體制造設(shè)備，產(chǎn)品體系豐富，在半導(dǎo)體清洗設(shè)備領(lǐng)域的主要產(chǎn)品包括單片清洗設(shè)備及全自動槽式清洗設(shè)備，其 12 英寸單片清洗機采用單片晶圓旋轉(zhuǎn)濕法清洗技術(shù)，此設(shè)備具有清洗選擇性好、清洗效率高等技術(shù)，包括化學(xué)藥液保護系統(tǒng)、管路防靜電系統(tǒng)、兆聲波系統(tǒng)等，在保證不損傷產(chǎn)品本身結(jié)構(gòu)的前提下，選擇性的清洗殘留物。

（3）芯源微

芯源微主要產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備(涂膠/顯影機、噴膠機)和單片式濕法設(shè)備（包括清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），產(chǎn)品可用于 6 英寸及以下單晶圓處理（如 LED 芯片制造環(huán)節(jié)）及 8/12 英寸單晶圓處理。

（4）提?？萍?/strong>

提牛科技公司主要從事半導(dǎo)體清洗設(shè)備和中央供液系統(tǒng)（CDS）的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)，主要產(chǎn)品或服務(wù)包括半導(dǎo)體槽式清洗設(shè)備、部件清洗設(shè)備、中央供液系統(tǒng)以及相關(guān)改造服務(wù)、工程服務(wù)和配件銷售。清洗設(shè)備覆蓋了 8 英寸、6 英寸、4 英寸晶圓的清洗。

（5）至純科技

至純科技主營業(yè)務(wù)主要包括半導(dǎo)體制程設(shè)備、工藝支持設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)銷售，以及由此衍生的高純工藝系統(tǒng)建設(shè)、電子材料、部件清洗及晶圓再生等服務(wù)。至純科技目前超過 70%的業(yè)務(wù)在半導(dǎo)體領(lǐng)域，提供槽式設(shè)備及單片機設(shè)備覆蓋目前國內(nèi)產(chǎn)線成熟工藝及先進工藝涉及的全部濕法工藝。至純科技提供的濕法設(shè)備可以應(yīng)用在先進工藝上，主要為存儲（DRAM、3DFlash）、先進邏輯產(chǎn)品，還覆蓋一些特殊工藝上，例如薄片工藝、化合物半導(dǎo)體、金屬剝離制程等。

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第一章半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)相關(guān)概述

第一節(jié) 半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)定義及分類

一、行業(yè)定義

二、行業(yè)特性及在國民經(jīng)濟中的地位及影響

第二節(jié) 半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)特點及模式

一、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展特征

二、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)經(jīng)營模式

第三節(jié) 半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析

一、產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)

二、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)主要上游2017-2022年供給規(guī)模分析

三、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)主要上游2017-2022年價格分析

四、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)主要上游2023-2029年發(fā)展趨勢分析

五、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)主要下游2017-2022年發(fā)展概況分析

六、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)主要下游2023-2029年發(fā)展趨勢分析

第二章半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)全球發(fā)展分析

第一節(jié) 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場總體情況分析

一、全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)的發(fā)展特點

二、全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場結(jié)構(gòu)

三、全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模分析

四、全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)競爭格局

五、全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場區(qū)域分布

第二節(jié) 全球主要國家（地區(qū)）市場分析

一、歐洲

1、歐洲半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模

2、歐洲半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場結(jié)構(gòu)

3、2023-2029年歐洲半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景預(yù)測

二、北美

1、北美半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模

2、北美半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場結(jié)構(gòu)

3、2023-2029年北美半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景預(yù)測

三、日韓

1、日韓半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模

2、日韓半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場結(jié)構(gòu)

3、2023-2029年日韓半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景預(yù)測

四、其他

第三章《國民經(jīng)濟行業(yè)分類與代碼》中半導(dǎo)體清洗設(shè)備所屬行業(yè)2023-2029年規(guī)劃概述

第一節(jié) 2017-2022年所屬行業(yè)發(fā)展回顧

一、2017-2022年所屬行業(yè)運行情況

二、2017-2022年所屬行業(yè)發(fā)展特點

三、2017-2022年所屬行業(yè)發(fā)展成就

第二節(jié) 半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)所屬行業(yè)2023-2029年規(guī)劃解讀

一、2023-2029年規(guī)劃的總體戰(zhàn)略布局

二、2023-2029年規(guī)劃對經(jīng)濟發(fā)展的影響

三、2023-2029年規(guī)劃的主要目標

第四章 2023-2029年行業(yè)發(fā)展環(huán)境分析

第一節(jié) 2023-2029年世界經(jīng)濟發(fā)展趨勢

第二節(jié) 2023-2029年我國經(jīng)濟面臨的形勢

第三節(jié) 2023-2029年我國對外經(jīng)濟貿(mào)易預(yù)測

第四節(jié)2023-2029年行業(yè)技術(shù)環(huán)境分析

一、行業(yè)相關(guān)技術(shù)

二、行業(yè)專利情況

1、中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備專利申請

2、中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備專利公開

3、中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備熱門申請人

4、中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備熱門技術(shù)

第五節(jié)2023-2029年行業(yè)社會環(huán)境分析

第五章普華有策對半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)總體發(fā)展狀況

第一節(jié) 半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)特性分析

第二節(jié) 半導(dǎo)體清洗設(shè)備產(chǎn)業(yè)特征與行業(yè)重要性

第三節(jié) 2017-2022年半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析

一、2017-2022年半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展態(tài)勢分析

二、2017-2022年半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展特點分析

三、2023-2029年區(qū)域產(chǎn)業(yè)布局與產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移

第四節(jié) 2017-2022年半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)規(guī)模情況分析

一、行業(yè)單位規(guī)模情況分析

二、行業(yè)人員規(guī)模狀況分析

三、行業(yè)資產(chǎn)規(guī)模狀況分析

四、行業(yè)市場規(guī)模狀況分析

第五節(jié) 2017-2022年半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)財務(wù)能力分析與2023-2029年預(yù)測

一、行業(yè)盈利能力分析與預(yù)測

二、行業(yè)償債能力分析與預(yù)測

三、行業(yè)營運能力分析與預(yù)測

四、行業(yè)發(fā)展能力分析與預(yù)測

第六章 POLICY對2023-2029年我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場供需形勢分析

第一節(jié) 我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場供需分析

一、2017-2022年我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)供給情況

二、2017-2022年我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)需求情況

1、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)需求市場

2、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)客戶結(jié)構(gòu)

3、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)區(qū)域需求結(jié)構(gòu)

三、2017-2022年我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)供需平衡分析

第二節(jié) 半導(dǎo)體清洗設(shè)備產(chǎn)品市場應(yīng)用及需求預(yù)測

一、半導(dǎo)體清洗設(shè)備產(chǎn)品應(yīng)用市場總體需求分析

1、半導(dǎo)體清洗設(shè)備產(chǎn)品應(yīng)用市場需求特征

2、半導(dǎo)體清洗設(shè)備產(chǎn)品應(yīng)用市場需求總規(guī)模

二、2023-2029年半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)領(lǐng)域需求量預(yù)測

1、2023-2029年半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)領(lǐng)域需求產(chǎn)品功能預(yù)測

2、2023-2029年半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)領(lǐng)域需求產(chǎn)品市場格局預(yù)測

第七章我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)運行分析

第一節(jié) 我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展狀況分析

一、我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展階段

二、我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展總體概況

第二節(jié) 2017-2022年半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

一、2017-2022年我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模

二、2017-2022年我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析

三、2017-2022年中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)發(fā)展分析

第三節(jié) 2017-2022年半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場情況分析

一、2017-2022年中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場總體概況

二、2017-2022年中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場發(fā)展分析

第四節(jié) 我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場價格走勢分析

一、半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場定價機制組成

二、半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場價格影響因素

三、2017-2022年半導(dǎo)體清洗設(shè)備價格走勢分析

四、2023-2029年半導(dǎo)體清洗設(shè)備價格走勢預(yù)測

第八章 POLICY對中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場規(guī)模分析

第一節(jié) 2017-2022年中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場規(guī)模分析

第二節(jié) 2017-2022年我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備區(qū)域結(jié)構(gòu)分析

第三節(jié) 2017-2022年中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備區(qū)域市場規(guī)模

一、2017-2022年東北地區(qū)市場規(guī)模分析

二、2017-2022年華北地區(qū)市場規(guī)模分析

三、2017-2022年華東地區(qū)市場規(guī)模分析

四、2017-2022年華中地區(qū)市場規(guī)模分析

五、2017-2022年華南地區(qū)市場規(guī)模分析

六、2017-2022年西部地區(qū)市場規(guī)模分析

第四節(jié) 2023-2029年中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備區(qū)域市場前景預(yù)測

一、2023-2029年東北地區(qū)市場前景預(yù)測

二、2023-2029年華北地區(qū)市場前景預(yù)測

三、2023-2029年華東地區(qū)市場前景預(yù)測

四、2023-2029年華中地區(qū)市場前景預(yù)測

五、2023-2029年華南地區(qū)市場前景預(yù)測

六、2023-2029年西部地區(qū)市場前景預(yù)測

第九章普●華●有●策對2023-2029年半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整分析

第一節(jié) 半導(dǎo)體清洗設(shè)備產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)分析

一、市場細分充分程度分析

二、下游應(yīng)用領(lǐng)域需求結(jié)構(gòu)占比

三、領(lǐng)先應(yīng)用領(lǐng)域的結(jié)構(gòu)分析（所有制結(jié)構(gòu)）

第二節(jié) 產(chǎn)業(yè)價值鏈條的結(jié)構(gòu)分析及產(chǎn)業(yè)鏈條的整體競爭優(yōu)勢分析

一、產(chǎn)業(yè)價值鏈條的構(gòu)成

二、產(chǎn)業(yè)鏈條的競爭優(yōu)勢與劣勢分析

第十章半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)競爭力優(yōu)勢分析

第一節(jié) 半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)競爭力優(yōu)勢分析

一、行業(yè)整體競爭力評價

二、行業(yè)競爭力評價結(jié)果分析

三、競爭優(yōu)勢評價及構(gòu)建建議

第二節(jié) 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)競爭力剖析

第三節(jié) 半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)SWOT分析

一、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)優(yōu)勢分析

二、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)劣勢分析

三、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)機會分析

四、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)威脅分析

第十一章 2023-2029年半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)市場競爭策略分析

第一節(jié) 行業(yè)總體市場競爭狀況分析

一、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)競爭結(jié)構(gòu)分析

1、現(xiàn)有企業(yè)間競爭

2、潛在進入者分析

3、替代品威脅分析

4、供應(yīng)商議價能力

5、客戶議價能力

6、競爭結(jié)構(gòu)特點總結(jié)

二、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)企業(yè)間競爭格局分析

1、不同規(guī)模企業(yè)競爭格局

2、不同所有制企業(yè)競爭格局

3、不同區(qū)域企業(yè)競爭格局

三、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)集中度分析

1、市場集中度分析

2、企業(yè)集中度分析

3、區(qū)域集中度分析

第二節(jié) 中國半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)競爭格局綜述

一、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)競爭概況

二、重點企業(yè)市場份額占比分析

三、半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)主要企業(yè)競爭力分析

1、重點企業(yè)資產(chǎn)總計對比分析

2、重點企業(yè)從業(yè)人員對比分析

3、重點企業(yè)營業(yè)收入對比分析

4、重點企業(yè)利潤總額對比分析

5、重點企業(yè)負債總額對比分析

第三節(jié) 2017-2022年半導(dǎo)體清洗設(shè)備行業(yè)競爭格局分析

一、國內(nèi)主要半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)動向

二、國內(nèi)半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)擬在建項目分析

三、我國半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場集中度分析

第四節(jié) 半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)競爭策略分析

一、提高半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)競爭力的策略

二、影響半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)核心競爭力的因素及提升途徑

第十二章普華有策對行業(yè)重點企業(yè)發(fā)展形勢分析

第一節(jié) 企業(yè)五